Varian Turbo-V 70D Användarmanual

Kategori
Rymdvärmare
Typ
Användarmanual

Denna manual är också lämplig för

BRUKSANVISNING
15 87-900-862-01(E)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren
bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från
Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar
för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av
instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig
kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som
strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna i Turbo-V 70LP -serien är turbomolekylära pumpar för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för
pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig
inte för pumpning avtskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
75000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V 70LP-seriens pumpar, som
rför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att
garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade
uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
!
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell
procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt
anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.
!
VIKTIGT
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
!
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Var-
ian-återförsäljaren för ytterligare information.
RBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det
lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador
som kan ha uppstått under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart
till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
!
VIKTIGT
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med
bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar
eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har
installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från
atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
maximitryck: 2 bar)
temperatur: från +5°C till +35°C
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
!
VIKTIGT
Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.
BRUKSANVISNING
16 87-900-862-01(E)
Turbomolekylärpumparna i serien V 70LP måste användas med
en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9405, 969-9505, 969-
9507- eller 969-9508), och anslutas till en förpump (se schema i "
Technical information").
Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i
ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 200 Nm runt den
genomgående axeln, eller använd den särskilda monteringssatsen
som finns som tillval.
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den
följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket
åtdragningsmoment de ska spännas.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANTAL ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
ISO 63 Dubbel klammer
med gänga M10
4 22 Nm
Enkel klammer med
gänga M8
4 11 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
nvisas till bilaga “Technical Information”.
För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att
använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen pumpens
fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på
500 N/mm
2
korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i
styrenhetens bruksanvisning.
Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.
För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett
särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under
uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig
bli högre än 120 °C.
Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.
!
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
!
VIKTIGT
Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning
av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar.
!
VIKTIGT
Undvik sammanstötningar, sngningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
!
VIKTIGT
Vid pumpning av aggressiva gaser skall den specialkonstruerade
versionen av Turbo - V 70LP pumpen användas. Denna pumptyp
är försedd med ett specialuttag dit ett ädelgasflöde mellan 0.4 och
1 mbar l/s skall anslutas.
UNDERHÅLL
Pumparna i Turbo-V 70LP-serien är underhållsfria. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
!
VARNING!
Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens
strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella
ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills
pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller
Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad
pump.
OBSERVERA
Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte
mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet"
som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den
lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med
pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning
!
VARNING!
Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp
för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)
rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga
metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i
fundamentet.
NEJ
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40
  • Page 41 41
  • Page 42 42
  • Page 43 43
  • Page 44 44

Varian Turbo-V 70D Användarmanual

Kategori
Rymdvärmare
Typ
Användarmanual
Denna manual är också lämplig för