Varian Turbo-V 70D Användarmanual

Sidan laddas...

BRUKSANVISNING

15 87-900-862-01(E)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren

bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från

Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar

för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av

instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig

kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som

strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i Turbo-V 70LP -serien är turbomolekylära pumpar för

höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för

pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig

inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

75000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga

tillsatsämnen används i Turbo-V 70LP-seriens pumpar, som

därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att

garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade

uppgifter finns i bilagan " Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

!

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell

procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt

anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador.

!

VIKTIGT

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste

följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal

prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från

leveransdatumet.

!

VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen

skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Var-

ian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det

lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador

som kan ha uppstått under transporten.

Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart

till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.

!

VIKTIGT

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med

bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar

eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.

Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har

installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm

eller annat i den.

INSTALLATION

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från

atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte

heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

− maximitryck: 2 bar)

− temperatur: från +5°C till +35°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

!

VIKTIGT

Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har

anslutits till systemet.

BRUKSANVISNING

16 87-900-862-01(E)

Turbomolekylärpumparna i serien V 70LP måste användas med

en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9405, 969-9505, 969-

9507- eller 969-9508), och anslutas till en förpump (se schema i "

Technical information").

Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen i

ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast

fläns som måste tåla ett vridmoment på 200 Nm runt den

genomgående axeln, eller använd den särskilda monteringssatsen

som finns som tillval.

Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i

vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den

följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och med vilket

åtdragningsmoment de ska spännas.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANTAL ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 63 Dubbel klammer

med gänga M10

4 22 Nm

Enkel klammer med

gänga M8

4 11 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga “Technical Information”.

För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att

använda 3 M4 skruvar, som installeras i hålen på pumpens

fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på

500 N/mm

2

korrekt åtdragningsmoment är 0,9 Nm.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information".

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i

styrenhetens bruksanvisning.

Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.

För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett

särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under

uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet aldrig

bli högre än 120 °C.

Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

!

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

!

VIKTIGT

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning

av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar.

!

VIKTIGT

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

!

VIKTIGT

Vid pumpning av aggressiva gaser skall den specialkonstruerade

versionen av Turbo - V 70LP pumpen användas. Denna pumptyp

är försedd med ett specialuttag dit ett ädelgasflöde mellan 0.4 och

1 mbar l/s skall anslutas.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V 70LP-serien är underhållsfria. Allt

servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

!

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens

strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella

ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills

pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller

Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad

pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte

mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet"

som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den

lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med

pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning

!

VARNING!

Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp

för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)

rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga

metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen förankras i

fundamentet.

NEJ

Sidan laddas...

Varian Turbo-V 70D Användarmanual

Denna manual är också lämplig för

Varian Turbo-V 70D Användarmanual

på andra språk

Relaterade papper

Andra dokument