Varian 969-9048 series Användarmanual

Sidan laddas...

BRUKSANVISNING

15 87-900-874-01(B)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i Turbo-V550 -serien är turbomolekylära pumpar för

höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas

för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De

lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

42000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektmotor. Inga

tillsatsämnen används i Turbo-V550-seriens pumpar, som

därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

,

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt

enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

 VIKTIGT

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste

följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid transport

och förvaring av pumpen:

− temperatur: från -20°C till +70°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

Efter lång förvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -

metoden (se bruksanvisningen för styrenheten).

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta

det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på

skador som kan ha uppstått under transporten.

Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

 VIKTIGT

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen.

Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har

installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm

eller annat i den.

INSTALLATION

Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från

atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte

heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

− maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

− temperatur: från +5°C till +35°C

− relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)

 VIKTIGT

Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har

anslutits till systemet.

www.infinitevac.com

BRUKSANVISNING

16 87-900-874-01(B)

I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar.

Turbomolekylärpumparna i serien V550 måste användas med

en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9444, 969-9544,

969-9445, 969-9545, 969-9871), och anslutas till en förpump

(se schema i " Technical information").

Turbopumpen kan installeras i valfri position. Fäst turbopumpen

i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en

fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 4000 Nm runt sin

axel.

Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i

vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.

Den följande tabellen beskriver nödvändigt antal klamrar och

med vilket åtdragningsmoment de ska spännas.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANTAL ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

ISO 100 Dubbel klammer

med gänga M10

4 22 Nm

Enkel klammer med

gänga M8

8 11 Nm

ISO 160 Dubbel klammer

med gänga M10

4 22 Nm

Enkel klammer med

gänga M10

8 22 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga “Technical Information”.

För att fästa pumpen till fundamentet är det nödvändigt att

använda 3 M6 skruvar, som installeras i hålen på pumpens

fundament. De använda skruvarna måste tåla en belastning på

500 N/mm

2

korrekt åtdragningsmoment är 3,1 Nm.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information".

ANVÄNDNING

Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i

styrenhetens bruksanvisning.

Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen.

För att förbättra tryckgränserna kan pumphuset värmas med ett

särskilt värmeaggregat som finns som tillval. Under

uppvärmningen av pumploppet får temperaturen vid inloppet

aldrig bli högre än 120 °C.

Under uppvärmningen måste vattenkylningen användas.

,

VARNING!

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

 VIKTIGT

Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning

av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över

atmosfäriskt tryck).

 VIKTIGT

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

 VIKTIGT

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda

med en speciell öppning igenom vilken man skall leda en ström

av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda lagren (se bilagan

“Technical information“).

,

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga

eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna

för varje enskild gas.

Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Pumparna i Turbo-V550-serien är underhållsfria. Allt

servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

,

VARNING!

Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens

strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den

aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt

tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad

eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en

renoverad pump.

OBSERVERA

Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller

utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och

säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och

skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en

kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning

,

VARNING!

Peta aldrig med fingrar eller föremål i turbopumpens inlopp

för att undvika skador. Användning av skyddsgaller (tillval)

rekommenderas starkt. Om vibrationsdämpare eller böjliga

metallbälgar monteras vid inloppet måste pumpen

förankras i fundamentet.

NEJ

www.infinitevac.com

Sidan laddas...

Varian 969-9048 series Användarmanual

Varian 969-9048 series Användarmanual

på andra språk

Relaterade papper

Andra dokument