Varian 969-8902 Användarmanual

Kategori
Vattenpumpar
Typ
Användarmanual

Denna manual är också lämplig för

BRUKSANVISNING
22 87-900-983-01(B)
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
,
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
BRUKSANVISNING
23 87-900-983-01(B)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Pumparna av serie Turbo-V 81-M är molekylära turbopumpar
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan
pumpa alla typer av gaser och ej frätande gasblandningar, men
kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta
partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
80000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V 81-M, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
,
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-
standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Turbo-V 81-M levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till
att Turbo-V 81-M inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 81-
M. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den
har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in
damm eller annat i den.
INSTALLATION
VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical
Information”)
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar.
De molekylära pumparna av typen Turbo-V 81-M bör endast
användas med en av de speciella Varian systemen och måste
anslutas till en huvudpump (se schemat "Technical
Information").
BRUKSANVISNING
24 87-900-983-01(B)
Följande kontrollsystem finns tillgängliga:
- Rack controller 81-AG: 969-8988
- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
- PCB 24 V 969-9538
Turbo-V 81-M kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel.
Flänsen ISO 63 kan till exempel fixeras med höghållfasta
stålbyglar (modell Varian IC 63250 DCMZ).
I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras för
varje flänsdimension och med vilket moment de ska dras åt.
FLÄNS TYP AV
KLAMMER
ANT. ÅTDRAGNINGS-
MOMENT
Dubbel klammer
med gänga M10
4 22 Nm ISO 63
Enkel klammer
med gänga M8
4 11 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”
OBSERVERA
Turbo-V 81-M-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.
VIKTIGT !
Turbo-V 81-M tillhör den andra installationsklassen (eller ö-
verspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där-
för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna
klass.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.
ANVÄNDNING
Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av
turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning.
Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning.
För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp.
Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej
temperaturen på intagningsflänsen överstiga 120 °C med
ConFlat fläns och 80 °C med ISO fläns.
Använd alltid vattenkylning under uppvärmningsförloppen.
,
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
VIKTIGT!
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga
förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli
skadade.
Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från
damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr
måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).
För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda
med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström
av ädelgas (
Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se
bilagan “Technical information”).
,
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas.
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
UNDERHÅLL
Turbo-V 81-M pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
,
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad
eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett
renoverat system.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller
utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och
säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och
skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en
kopia av bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
BORTSKAFFNING
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.
Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-
direktivet som har betecknats som "WEEE".
Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den
Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbo-
len har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med van-
liga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentie-
rat uppsamlingssystem måste upprättas.
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
  • Page 1 1
  • Page 2 2
  • Page 3 3
  • Page 4 4
  • Page 5 5
  • Page 6 6
  • Page 7 7
  • Page 8 8
  • Page 9 9
  • Page 10 10
  • Page 11 11
  • Page 12 12
  • Page 13 13
  • Page 14 14
  • Page 15 15
  • Page 16 16
  • Page 17 17
  • Page 18 18
  • Page 19 19
  • Page 20 20
  • Page 21 21
  • Page 22 22
  • Page 23 23
  • Page 24 24
  • Page 25 25
  • Page 26 26
  • Page 27 27
  • Page 28 28
  • Page 29 29
  • Page 30 30
  • Page 31 31
  • Page 32 32
  • Page 33 33
  • Page 34 34
  • Page 35 35
  • Page 36 36
  • Page 37 37
  • Page 38 38
  • Page 39 39
  • Page 40 40
  • Page 41 41
  • Page 42 42
  • Page 43 43
  • Page 44 44
  • Page 45 45
  • Page 46 46
  • Page 47 47
  • Page 48 48
  • Page 49 49
  • Page 50 50
  • Page 51 51
  • Page 52 52
  • Page 53 53
  • Page 54 54
  • Page 55 55
  • Page 56 56
  • Page 57 57
  • Page 58 58
  • Page 59 59
  • Page 60 60
  • Page 61 61
  • Page 62 62
  • Page 63 63
  • Page 64 64
  • Page 65 65
  • Page 66 66
  • Page 67 67
  • Page 68 68

Varian 969-8902 Användarmanual

Kategori
Vattenpumpar
Typ
Användarmanual
Denna manual är också lämplig för