Varian 969-8902 Användarmanual

Sidan laddas ...

BRUKSANVISNING

22 87-900-983-01(B)

Säkerhetsanvisningar

för

Molekylära turbopumpar

De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi

beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.

I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller

om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

,

VARNING!

För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas

på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här

bruksanvisningen följas noga.

BRUKSANVISNING

23 87-900-983-01(B)

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna av serie Turbo-V 81-M är molekylära turbopumpar

för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan

pumpa alla typer av gaser och ej frätande gasblandningar, men

kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta

partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

80000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga

tillsatsämnen används i Turbo-V 81-M, som därför passar för

tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

,

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt

enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

 VIKTIGT !

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste

följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-

standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från

leveransdatumet.

 VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen

skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala

Varian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

Turbo-V 81-M levereras i ett särskilt skyddande emballage.

Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar

tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till

att Turbo-V 81-M inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

 VIKTIGT !

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 81-

M. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den

har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in

damm eller annat i den.

INSTALLATION

 VIKTIGT !

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen

ska anslutas till systemet.

Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för

påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva

gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical

Information”)

- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).

I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar.

De molekylära pumparna av typen Turbo-V 81-M bör endast

användas med en av de speciella Varian systemen och måste

anslutas till en huvudpump (se schemat "Technical

Information").

BRUKSANVISNING

24 87-900-983-01(B)

Följande kontrollsystem finns tillgängliga:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Turbo-V 81-M kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett

stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast

fläns som måste tåla ett vridmoment på 1000 Nm kring sin axel.

Flänsen ISO 63 kan till exempel fixeras med höghållfasta

stålbyglar (modell Varian IC 63250 DCMZ).

I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras för

varje flänsdimension och med vilket moment de ska dras åt.

FLÄNS TYP AV

KLAMMER

ANT. ÅTDRAGNINGS-

MOMENT

Dubbel klammer

med gänga M10

4 22 Nm ISO 63

Enkel klammer

med gänga M8

4 11 Nm

Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till

vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga ”Technical Information”

OBSERVERA

Turbo-V 81-M-systemet kan inte fastspännas med sin egen

bas.

 VIKTIGT !

Turbo-V 81-M tillhör den andra installationsklassen (eller ö-

verspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut där-

för anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna

klass.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information”.

ANVÄNDNING

Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av

turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning.

Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning.

För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp.

Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej

temperaturen på intagningsflänsen överstiga 120 °C med

ConFlat fläns och 80 °C med ISO fläns.

Använd alltid vattenkylning under uppvärmningsförloppen.

,

VARNING!

Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad

till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med

låsflänsen.

Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under

uppvärmningen för att undvika brännskador.

 VIKTIGT!

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga

förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli

skadade.

Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser som ärfria från

damn eller andra partiklar. Ingångstrycket mot rätt dörr

måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket).

För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda

med en speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström

av ädelgas (

Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se

bilagan “Technical information”).

,

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga

eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda

anvisningarna för varje enskild gas.

Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

UNDERHÅLL

Turbo-V 81-M pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt

servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.

,

VARNING!

Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens

strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den

aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt

tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad

eller Varian utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett

renoverat system.

OBSERVERA

Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller

utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och

säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och

skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en

kopia av bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

BORTSKAFFNING

Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.

Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-

direktivet som har betecknats som "WEEE".

Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den

Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbo-

len har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med van-

liga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentie-

rat uppsamlingssystem måste upprättas.

Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med

leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om

moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta

uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig

kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.

Sidan laddas ...

Varian 969-8902 Användarmanual

Denna manual är också lämplig för

Varian 969-8902 Användarmanual

på andra språk

Relaterade papper

Andra dokument