Converters.TV 702 Användarmanual

Sidan laddas ...

Contents

8/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Generel Information 89

Opbevaring 90

Forberedelse før installation 91

Installation 92

Fastgørelse af pumpe 93

Anvendelse 94

Vedligeholdelse 96

Bortskaffelse 98

8 Bruksanvisning 99

Säkerhetsanvisningar för Molekylär

a turbopumpar 100

Allmän information 101

Förvaring 102

Förberedelser för installationen 103

Installation 104

Fastsättning av pump 105

Användning 106

Underhåll 109

Bortskaffande 110

9 Instruksjon Manual 111

Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 112

Generell informasjon 113

Lagring 114

Sidan laddas ...

TV 702 SEM User Manual

99/270

8

Bruksanvisning

Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar100

Allmän information 101

Förvaring 102

Förberedelser för installationen 103

Installation 104

Fastsättning av pump 105

Användning 106

Start och användning av TV 702 SEM 107

Att stänga av TV 702 SEM 108

Nödstopp 108

Underhåll 109

Bortskaffande 110

Översättnin

g av originalinstruktionerna

8

Bruksanvisning

Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar

100/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar

De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har

en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten

och rotorernas specifika massa.

I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan

rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att

rotationsenergin frigörs.

VARNING!

För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på

operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här

bruksanvisningen följas noga.

Bruksanvisning

Allmän information

8

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 101/270

Allmän information

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör

läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent

före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador

helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna,

olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt

bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala

föreskrifter.

Pumparna av serien TV 702 SEM är turbomolekylära pumpar för

höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan användas

för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar

sig inte systemet för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin

(max 42000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga

tillsatsämnen används i TV 702 SEM, som därför passar för

tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

TV 702 SEM har dessutom hjälpkontakter som gör det möjlig att förse

ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och

att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom

seriell förbindelse (RS 232/RS 485).

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att

garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade

uppgifter finns i bilagan "Technical Information".

8

Bruksanvisning

Förvaring

102/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur

eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat

fall finns risk för svåra personskador.

OBSERVER!

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för

att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

Förvaring

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda

och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar:

 Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

 Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

 Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

 Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när

de mottas och sätts i drift för första gången.

 De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från

leveransdatumet.

Bruksanvisning

Förberedelser för installationen

8

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 103/270

OBSERVER!

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka

till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för

ytterligare information.

Förberedelser för installationen

TV 702 SEM levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta

det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador

som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 702 SEM inte

tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart

till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.

OBSERVER!

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer

pga kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 702 SEM. Trots det är det

säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att

förhindra att det kommer in damm eller annat i den.

8

Bruksanvisning

Installation

104/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Figur 1

Installation

OBSERVER!

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till

systemet.

Figur 2

Bruksanvisning

Fastsättning av pump

8

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 105/270

Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan

från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte

heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

 maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

 temperatur: från +5 °C till +35 °C (se bild i “Technical

Information”)

 relativ luftfuktighet: 0 - 95 % (utan kondens).

I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm.

Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar. TV

702 SEM måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical

Information").

Fastsättning av pump

VARNING!

I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet

utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda

vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från

pumpens hölje. I detta fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen eller

systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller skador på

apparater i närheten.

Fäst TV 702 SEM i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens

intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på

8600 Nm kring sin axel. Exempelvis kan ISO-K-flänsen fästas med

stålklamrar med hög hållfasthet (t.ex. modellen Agilent IC 63250

DCMZ).

Tabellen som följer anger hur många klamrar (IC 63250 DCMZ) som

är nödvändiga för varje fläns samt motsvarande åtdragningsmoment.

8

Bruksanvisning

Användning

106/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Tab. 1

FLÄNS ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT

ISO 160 K 10 35 Nm

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumpen med intagsfläns ISO 160 F eller ISO 200 F ska fästas

till vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar. För detaljer

hänvisas till bilaga ”Technical Information”. TV 702 SEM kan

installeras i valfri position.

För en optimal prestanda av TV 702 SEM bör systemet monteras i

vertikal position.

OBSERVERA

TV 702 SEM-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas.

OBSERVER!

TV 702 SEM tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen)

enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som

uppfyller kraven för denna klass.

TV 702 SEM är utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den

seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det

inte går att komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen

som är ansluten till TV 702 SEM har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel

enligt standard EN 61010-1.

Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical

Information”.

Användning

Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens

bruksanvisning.

Bruksanvisning

Användning

8

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 107/270

Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och

pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får

temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120 °C.

VARNING!

Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till

vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte

turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika

brännskador.

OBSERVER!

Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av

turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade.Pumpen ska förses med

luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar.

Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska

trycket). För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en

speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller

argon) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”).

VARNING!

Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva

gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas.

Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.

Start och användning av TV 702 SEM

För att starta TV 702 SEM behöver du bara mata styrenheten, som

automatiskt känner igen förreglings- och startsignaler, och startar

pumpen.

8

Bruksanvisning

Användning

108/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Pumpens första start sker i "Mjukstart"-läget som i slutet av

inledningscykeln slås av automatiskt. Därefter startar pumpen utan

funktionen "Mjukstart". För att återaktivera "Mjukstart" måste man

återställa ovannämnda läge genom mjukvaran (se stycket "RS

232/485 COMMUNICATlON DESCRIPTION" i bilagan "Technical

Information").

Den gröna lysdioden LD1 på styrenhetens frontpanel anger, genom

frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar:

 fast sken: pumpen roterar normalt;

 långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för

acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock";

 hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd.

Att stänga av TV 702 SEM

Om du vill stänga av TV 702 SEM behöver du bara koppla från

styrenheten som omedelbart avbryter pumpens funktion.

VARNING!

För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en

strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)

tillsammans med kontakt (godkänd på internationell nivå). Använd sladden

och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar

och enligt krävande EU normer. Den höga spänningen som framkallas av

styrenheten kan orsaka personskador eller till och med döda. Dra därför

alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti

enheten.

Nödstopp

Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av

TV 702 SEM.

Bruksanvisning

Underhåll

8

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 109/270

Underhåll

TV 702 SEM är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av

auktoriserad personal.

VARNING!

Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning

avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta

sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

Om pumpen havererar, är det möjligt att använda sig av Agilent

reparationsverkstad, för att erhålla ett renoverat system istället för

det trasiga.

OBSERVERA

Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller advanced exchange

service, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen

fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av

bladet med pumpen.

Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.

8

Bruksanvisning

Bortskaffande

110/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Bortskaffande

Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.

Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CE-

direktivet som har betecknats som "WEEE".

Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den

Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen

har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga

hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat

uppsamlingssystem måste upprättas.

Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med

leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om

moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta

uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig

kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.

Sidan laddas ...

Converters.TV 702 Användarmanual

Converters.TV 702 Användarmanual

på andra språk

Andra dokument