TV 551/701
Navigator
969-8832 969-8833
969-8834 969-8835
969-8836 969-8837
969-8922 969-8923
969-8924 969-8925
969-8926 969-8927
969-8974 969-8975
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
87-900-934-01(D)
SEPTEMBER 2003
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our inventory
TV 551 Navigator
TV 701 Navigator
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................3
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................5
INSTRUCCIONES DE USO ...............................................................................................................................7
INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................................................9
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................11
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................13
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................15
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................17
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................19
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................21
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................23
TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................25
DESCRIPTION OF THE TV 551/701 NAVIGATOR ....................................................................25
Pump Description ..............................................................................................................26
Controller Description ........................................................................................................26
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................27
TV 551/701 NAVIGATOR OUTLINE............................................................................................28
INTERCONNECTIONS................................................................................................................31
P3 - Vent ............................................................................................................................31
P4 – External fan ...............................................................................................................31
J1 - IN-OUT........................................................................................................................31
P2 - Serial ..........................................................................................................................34
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................34
Communication Format .....................................................................................................34
Communication Protocol....................................................................................................34
Window Meanings .............................................................................................................35
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................37
HEATER BAND INSTALLATION.................................................................................................38
AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................39
TV 551/701 with Navigator Controller................................................................................39
TV 551/701 Pump with Standard Rack Controller.............................................................40
WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................41
VENT ACCESSORIES.................................................................................................................41
TV 551/701 Navigator Controller Compatible....................................................................41
Standard Rack Controller Compatible...............................................................................42
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................43
PURGE VALVE INSTALLATION .................................................................................................43
SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................43
TV 551/701 CONTROLLER INSTALLATION ..............................................................................44
TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................45
With Navigator Controller...................................................................................................45
With Standard Rack Controller ..........................................................................................45
Connection A - HIGH VACUUM FLANGE.........................................................................46
Connection configurations .................................................................................................46
Connection B - FORE-VACUUM PUMP............................................................................47
Connection C - ELECTRICAL............................................................................................47
PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................47
PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................48
ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................48
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-934-01(D)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-
lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i-
struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritie-
ne sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TV 551/701 Navigator è un sistema integrato costituito da una
pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuo-
to e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare
qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è adatto
per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (42000 giri/min. max) mossa da un motore elet-
trico trifase ad alto rendimento. Il TV 551/701 Navigator è to-
talmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per
applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile ali-
mentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di
vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con
linea seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-
cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-
l'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
! ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che,
se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità del-
le pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti con-
dizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-
lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
! ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è supe-
riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazio-
ne, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TV 551/701 Navigator viene fornito in un imballo protettivo
speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero es-
sersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite
locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare partico-
lare attenzione a non lasciar cadere il TV 551/701 Navigator e a
non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nel-
l'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde
alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
! ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le ma-
ni nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Uti-
lizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il TV 551/701 Navigator non può essere danneggiato rimanen-
do semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comun-
que di mantenere chiusa la pompa fino al momento
dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquina-
mento da polvere.
INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico
nell’appendice “Technical Information”)
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
! ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-
mento del collegamento della turbopompa al sistema.
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Techni-
cal Information" per ulteriori dettagli.
Il TV 551/701 Navigator deve essere collegato ad una pompa
primaria (vedere schema in "Technical Information")
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-934-01(D)
FISSAGGIO DELLA POMPA
!
PERICOLO!
Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa
ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia signifi-
cativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla
suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il
motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa. In questo
caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla
pompa o dal sistema, i quali potrebbero causare seri danni o la
morte e/o danni agli apparati adiacenti.
Fissare il TV 551/701 Navigator in posizione stabile montando
la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di si-
stema, con una connessione capace di resistere ad una coppia
di 8600 Nm attorno al proprio asse.
Per esempio la flangia ISO-K può essere fissata con morsetti in
acciaio ad alta resistenza (tipo il modello Varian
IC63250DCMZ).
La seguente tabella descrive, per ogni flangia, il numero di
morsetti IC63250DCMZ necessari e con quale coppia di ser-
raggio stringerli.
FLANGIA N. COPPIA DI SERRAGGIO
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-
chnical Information".
Il TV 551/701 Navigator può essere installato in qualsiasi posi-
zione.
NOTA
Il TV 551/701 Navigator non può essere fissato tramite la sua
base.
! ATTENZIONE!
Il TV 551/701 Navigator appartiene alla seconda categoria di
installazione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN
61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimen-
tazione che soddisfi tale categoria.
Il TV 551/701 Navigator ha dei connettori per gli ingressi/uscite
e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai
circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia
accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo con-
nesso al TV 551/701 Navigator abbia un isolamento adeguato
anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla nor-
mativa EN 61010-1.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-
rative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
!
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-
sare lesioni alle persone.
! ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte
esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-
verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica).
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate
di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire
alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-
gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").
!
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-
sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure
tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TV 551/701 Navigator
Per accendere il TV 551/701 Navigator è sufficiente fornire la
tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce
automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio
ed avvia la pompa.
La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start”
che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente,
per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il
modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start” at-
tivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere
il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION”
nell’appendice “Technical Information”).
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 551/701 Na-
vigator indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizio-
ni operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-
stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-
ting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-
dizione di errore.
Arresto del TV 551/701 Navigator
Per arrestare il TV 551/701 Navigator è sufficiente togliere la
tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta im-
mediatamente la pompa.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 551/701 Naviga-
tor occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller.
MANUTENZIONE
Il TV 551/701 Navigator non richiede alcuna manutenzione.
Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale auto-
rizzato.
!
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-
ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at-
tendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-
ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-
mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello
guasto.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o a-
dvanced exchange service, è indispensabile compilare e far per-
venire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute"
allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa de-
ve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
GEBRAUCHSANLEITUNG
3 87-900-934-01(D)
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen
Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der
nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung.
Modell TV 551/701 Navigator ist ein integriertes System, das
aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-
anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller,
besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten
von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die
Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwir-
kung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 42.000 1/min)
erreicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor ange-
trieben wird. Modell TV 551/701 Navigator enthält keinerlei
umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für
Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.
Modell TV 551/701 Navigator verfügt des weiteren über Zu-
satzanschlüsse, über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt,
das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem
Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden
kann (RS232, RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-
onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des
Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im
Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
!ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TV 551/701 Navigator wird in einer speziellen Schutzver-
packung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-
digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 551/701
Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunter-
fallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Modell TV 551/701 Navigator kann durch die Umgebung an
sich keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installati-
on an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen
durch Staub zu vermeiden.
INSTALLATION
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-
hang "Technical Information")
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
!ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell TV 551/701 Navigator ist an eine Primärpumpe anzu-
schließen (siehe Schema in "Technical Information").
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-934-01(D)
BEFESTIGUNG DER PUMPE
!
GEFAHR!
Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwi-
schen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen
Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem
Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,
besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder
der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten
Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert
werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden
an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten.
TV 551/701 Navigator in einer stabilen Position befestigen. Den
Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Sys-
tems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von
8.600 Nm um die eigene Achse standhalten.
Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklem-
men befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ). Die
nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250
DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem
Anzugsmoment sie festzuziehen sind.
FLANSCH ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
Modell TV 551/701 Navigator kann in jeder beliebigen Position
installiert werden.
HINWEIS
Modell TV 551/701 Navigator kann nicht mittels seines Sockels
befestigt werden.
!ACHTUNG!
Der TV 551/701 Navigator gehört zur zweiten Installationsklas-
se (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen
ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung ange-
schlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV
551/701 Navigator hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und
die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise ange-
schlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung
zugänglich ist . Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV
551/701 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtli-
nie EN 61010-1 vorgesehen wird.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
!
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist. Während
des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße
Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
!ACHTUNG!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da
die Lager beschädigt werden könnten.
Für die Belüftung der Pumpe trockene staub- und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-
tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen
Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die
Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum
Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
!
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren
oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige
Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell TV
551/701 Navigator
Zur Einschaltung von Modell TV 551/701 ist es mit der erforder-
lichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute
Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-
und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft
Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.
Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den
Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"
zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-
zugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 551/701
gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator
Zum Stoppen von Modell TV 551/701 Navigator ist die Versor-
gungsspannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt
für den sofortigen Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur Stillsetzung von Mod. TV 551/701 Navigator in Notsituatio-
nen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen.
WARTUNG
Modell TV 551/701 Navigator erfordert keine Wartung. Eventu-
elle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausge-
führt werden.
!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-
ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System
zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-
tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und
Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-
ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
MODE D’EMPLOI
5 87-900-934-01(D)
INDICATIONS GENERALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie par Varian qui décline par conséquent toute
responsabilité en cas de non respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le TV 551/701
Navigator est un système intégré, constitué d'une pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé
et ultrapoussé et doté d'un contrôleur. Le système est à même
de pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais
il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de particules
solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine
tournant à vitesse élevée (42000 tr/min maxi), mue par un
moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TV 551/701
Navigator est totalement exempt d'agents polluants et il est par
conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un
vide "propre". Le TV 551/701 Navigator est en outre doté de
connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur
supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le
piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par
ligne sérielle.Les paragraphes suivants fournissent toutes les
indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur
pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus
détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
!
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
! ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants,
extrapolés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de
respecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
! ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PREPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TV 551/701 Navigator est livré dans un emballage de
protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage
pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau
de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 551/701
Navigator et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
! ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
Le TV 551/701 ne peut s'endommager en restant simplement
exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution
due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son
emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la
poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans
"Technical Information")
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
! ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre
renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical
Information". Le TV 551/701 Navigator doit être connecté à une
pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
MODE D’EMPLOI
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FIXATION DE LA POMPE
!
DANGER!
En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe -
système pourrait être soumise à un couple très important. Si la
connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la
pompe peut se détacher du système ou le moteur de
l'enveloppe de la pompe. Dans ce cas, des morceaux de métal
peuvent être expulsés par la pompe ou le système et entraîner
des blessures graves voire la mort et/ou endommager
sérieusement les équipements environnants.
Fixer le TV 551/701 Navigator de façon stable en assurant la
collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du
système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un
couple de 8600 Nm autour de son axe.
La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en acier
haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMSZ).
Le tableau suivant indique, pour chaque collerette, le nombre
de pinces IC63250 DCMZ nécessaires et le couple de serrage
à appliquer.
BRIDE N. COUPLE DE SERRAGE
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
Le TV 551/701 Navigator peut être installée dans n'importe
quelle position.
NOTE
Le TV 551/701 Navigator ne peut être fixé par sa base.
! ATTENTION!
Le TV 551/701 Navigator appartient à la deuxième catégorie
d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1.
De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation
compatible avec cette catégorie.
Le TV 551/701 Navigator dispose de connecteurs pour les
entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent
être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie
sous tension ne soit accessible.
S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 551/701
Navigator a une isolation appropriée même en condition de
panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILIZATION
Ce paragraphe présente les principales procédures
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
!
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas
reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la
bride de fermeture. Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses
accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage. La
température élevée peut être à l'origine de lésions graves.
! ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou
déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression
d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure
à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées
d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour
protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").
!
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mise en marche et utilisation du TV 551/701
Navigator
Pour allumer le TV 551/701 Navigator il suffit de fournir la
tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît
automatiquement la présence de signaux d'interlock et de
démarrage et il actionne la pompe.
La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft
Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive
automatiquement et les mises en marche suivantes se font sans le
passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise en marche
"Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel
(Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION"
dans l'appendice "Technical Information").
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV
551/701 indique, par sa fréquence de clignotement, les
conditions opérationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente
interlock.
- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
Arrêt du TV 551/701 Navigator
Pour arrêter le TV 551/701 Navigator, il suffit de retirer la
tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête
immédiatement la pompe.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TV 551/701 Navigator en conditions d'urgence, il
faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
ENTRETIEN
Le TV 551/701 Navigator n'exige aucun entretien particulier.
Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
!
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian ou du "Varian advanced exchange service"
qui permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du
système endommagé.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou
"advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau
Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent
manuel d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise
dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
INSTRUCCIONES DE USO
7 87-900-934-01(D)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El TV 551/701 Navigator es un sistema integrado compuesto por
una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el controler correspondiente. El sistema puede
bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no
es adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto
de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta
velocidad (42000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico
trifásico de alto rendimiento. El TV 551/701 Navigator no posee
ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para
aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, el TV 551/701 Navigator posee conectores auxiliares
con los que se puede alimentar un ventilador adicional,
accionar la válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un
ordenador host conectado mediante línea serial (RS 232/RS
485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
!
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
! ¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
! ¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TV 551/701 Navigator se suministra en un embalaje especial
de protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga el TV 551/701 Navigator y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399
para la preservación del medio ambiente.
! ¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El TV 551/701 Navigator no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el
sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
! ¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al
conectar la bomba al sistema.
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo
“Technical Information” para más detalles.
El TV 551/701 Navigator ha de conectarse a una bomba
primaria (véase diagrama en “Technical Information”).
INSTRUCCIONES DE USO
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FIJACIÓN DE LA BOMBA
!
¡PELIGRO!
En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el
sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas
circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza
y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el
motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba. En
este caso fragmentos de metal pueden ser proyectados por la
bomba o por el sistema, con consiguiente grave riesgo de lesiones
o muerte y/o daños a los aparatos adyacentes.
Fijar el TV 551/701 Navigator en posición estable, montando la
brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del
sistema, con conexión capaz de resistir a un par de 8600 Nm
en torno a su propio eje.
A modo de ejemplo, la brida ISO-K puede fijarse con mordazas de
acero de alta resistencia (como el modelo Varian IC 63250 DCMZ).
En la siguiente tabla se indican, respecto de cada brida, la
cantidad de mordazas IC 63250 DCMZ necesarias y el par de
apriete con el cual fijarlas.
BRIDA N. PAR DE APRIETE
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
El TV 551/701 Navigator puede instalarse en cualquier
posición.
NOTA
El TV 551/701 Navigator no puede fijarse utilizando su base.
! ¡ATENCIÓN!
El TV 551/701 Navigator pertenece a la segunda categoría de
instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN
61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a
una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
El TV 551/701 Navigator tiene conectores para las
entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser
conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte
bajo tensión quede accesible. Controlar que el aislamiento del
dispositivo conectado al TV 551/701 Navigator mantenga una
acción aisladora incluso en caso de verificarse una avería, de
conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
!
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de
cierre.
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
! ¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían
dañarse.
Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta
deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión
atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas
están dotadas de una puerta específica mediante la cual es
necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte
(Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el
anexo “Technical Information”).
!
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya
gases explosivos.
Encendido y Uso del TV 551/701 Navigator
Para encender el TV 551/701 Navigator basta con suministrar
la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y
de arranque y activa la bomba.
La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft
Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita
automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en
marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a
utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario
rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software
(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”).
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV
551/701 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las
condiciones operativas del sistema:
- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
- parpadea lentamente (periodo de 400 ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms
aproximadamente): condición de error.
Parada del TV 551/701 Navigator
Para parar el TV 551/701 Navigator nte con desenchufarlo de
la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la
bomba.
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 551/701
Navigator es necesario desconectar del controlador el cable de
alimentación.
MANTENIMIENTO
El TV 551/701 Navigator no necesita ningún mantenimiento.
Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado.
!
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema
desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo
la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare
completamente y esperar a que la temperatura superficial de la
bomba sea inferior a 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite
obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o
“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y
Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia
de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema
antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
INSTRUÇÕES DE USO
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INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
O TV 551/701 Navigator é um sistema integrado, constituído
por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-
alto vácuo, integrada no relativo controller.
O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de
composto gasoso, mas não é adequado para bombear líquidos
ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (42000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 551/701 Navigator é
totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é
adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o TV 551/701 Navigator tem conectores auxiliares
através dos quais é possível alimentar um ventilador adicional,
comandar a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto
através de um computer host conectado por meio de linhas
seriais (RS 232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão
descritas todas as informações necessárias para garantir a
segurança do operador durante o uso da aparelhagem.
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical
Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
!
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
!ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
!ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O TV 551/701 Navigator é fornecido numa embalagem
protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que
poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto
com o escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques
ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
!ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
O TV 551/701 Navigator não pode ser danificado
permanecendo simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-
se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da
instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de
pó.
INSTALAÇÃO
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no
apêndice “Technical Information”)
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
!ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
O TV 551/701 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária
(consultar esquema em "Technical Information").
INSTRUÇÕES DE USO
10 87-900-934-01(D)
FIXAÇÃO DA BOMBA
!
PERIGO!
Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema
corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não
resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode
soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do invólucro da
bomba. Nesse caso, fragmentos de metal podem ser projectados
da bomba ou do sistema, que podem provocar lesões graves ou
a morte e/ou danificar os equipamentos adjacentes.
Colocar o TV 551/701 Navigator em posição estável, fixando o
flange de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema,
com uma ligação que resista a um torque de 8600 Nm à volta
do seu eixo.
Por exemplo, o flange ISO-K pode ser fixado com bornes de aço
de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250 DCMZ).
A tabela a seguir contém, por cada flange, o número de bornes
IC 63250 DCMZ necessários e o respectivo torque de aperto.
FLANGE N TORQUE DE APERTO
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
na câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
O TV 551/701 Navigator pode ser instalado em qualquer
posição.
NOTA
O TV 551/701 não pode ser fixado através da sua base.
!ATENÇÃO!
O TV 551/701 Navigator pertence à segunda categoria de
instalação (ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1.
Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação
apropriada para esta categoria.
O TV 551/701 Navigator tem dois conectores para as
entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser
ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso
às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do
dispositivo ligado ao TV 551/701 Navigator esteja isolado
correctamente mesmo em caso de avaria, conforme previsto
pela norma NE 61010-1.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual
aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de
entrada não deve ser superior a 120 ºC.
!
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver ligado à
câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
!ATENÇÃO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da tur-
bobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem
poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta
específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão
atmosférica).
Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é
necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice
"Technical Information”).
!
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
Acendimento e Utilização do TV 551/701
Navigator
Para ligar o TV 551/701 é suficiente fornecer a tensão de
alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente
os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que,
no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente,
portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão
em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”,
será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o
software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”).
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV
551/701, indica, através da frequência de intermitência, as
condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Paragem do TV 551/701 Navigator
Para parar o TV 551/701 Navigator é suficiente desligar a
tensão de alimentação. O controller incorporado para
imediatamente a bomba.
Paragem de Emergência
Para parar o TV 551/701 Navigator em condições de emergên-
cia é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
MANUTENÇÃO
O TV 551/701 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas
as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
!
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",
que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações
ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher
e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e
Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da
mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua
eliminação respeitando as normas nacionais específicas.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
11 87-900-934-01(D)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving
De TV551/701 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge
vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het
systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen,
maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste
deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel
draaiende turbine (max. 42.000 toeren/min.) die aangedreven
wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement.
De TV 551/701 Navigator is volledig vrij van verontreinigingen en is
dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm
verlangen. De TV 551/701 Navigator is bovendien van
hulpconnectors voorzien waarmee een extra ventilator kan worden
gevoed, de luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en
waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host
computer op afstand kan worden bediend (RS 232/RS 485).
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur
te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de
bijlage "Technical information
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
!
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
! ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De TV 551/701 Navigator wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 551/701 Navigator niet
kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
! ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De TV 551/701 Navigator kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze
niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling
door stof wordt voorkomen.
INSTALLATIE
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
! ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De TV 551/701 Navigator moet op een primaire pomp
aangesloten zijn (zie schema in "Technical information").
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
12 87-900-934-01(D)
BEVESTIGING VAN DE POMP
!
GEVAAR!
Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de
pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel
onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om
dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de
motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit geval
kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het
rond worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of
schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken.
Bevestig de TV 551/701 Navigator in een stabiele positie door
de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het
systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een
koppel van 8600 Nm rondom de eigen as te weerstaan.
De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen
klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Varian IC
63250 DCMZ).
De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal
benodigde klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze
aangetrokken moeten worden.
FLENS
NR.
AANHAAL KOPPEL
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
De TV 551/701 Navigator kan in alle standen worden
geïnstalleerd.
OPMERKING
De TV551/701 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen
basis worden bevestigd.
! ATTENTIE!
De TV 551/701 Navigator behoort tot de tweede
installatiecategorie (of overspanningscategorie) die door de
norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op
een voedingslijn die aan deze categorie voldoet.
De TV 551/701 Navigator bezit connectoren voor de
ingangen/uitgangen en voor de seriële communicatie die
aangesloten moeten worden op de externe circuits, zodat geen
enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de
inrichting verbonden met de TV 551/701 Navigator goed
geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals
voorzien door de norm EN 61010-1.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen
tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de
eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
!
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten
is. Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens
het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
! ATTENTIE!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de
turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen
anders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas
zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor
bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van
een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom
inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt
geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
!
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de TV 551/701
Navigator
Om de TV551/701 Navigator in te schakelen is het voldoende
om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller
herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en
startsignalen en start de pomp.
De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze “Soft Start”
die, aan het einde van de startcyclus, automatisch ontmachtigd
wordt. Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze “Soft
Start” geschieden. Om opnieuw met “Soft Start” te starten,
moet bovengenoemde wijze met behulp van de software
gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION
DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”).
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV
551/701 geeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Afzetten van de TV 551/701 Navigator
Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden
onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp.
Noodstop
Om de TV 551/701 Navigator in noodomstandigheden te
stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller
losgemaakt worden.
ONDERHOUD
De TV 551/701 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele
werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden
uitgevoerd.
!
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen:
zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid
en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke
verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden
gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
BRUGSANVISNING
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GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
TV 551/701 Navigator-systemet omfatter en turbomolekylær
pumpe til høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel
styreenhed. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som
helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet kan
ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(42000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor
med høj effekt. TV 551/701 Navigator er ikke fremstillet af
skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver
“rent” vakuum.
TV 551/701 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det
muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og
fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel
forbindelse (RS 232/RS 485).
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige
for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med
anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information”
indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
!
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
!VIGTIGT!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
OPBEVARING
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
!VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale
Varian repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
TV 551/701 Navigator leveres i en speciel beskyttende
emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen
viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at TV 551/701 Navigator ikke tabes eller udsættes for
stød ved udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
!VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 551/701
Navigator. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket
kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der
kommer støv i pumpen.
INSTALLATION
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget
“Teknisk Information”)
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
! VIGTIGT!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger.
TV 551/701 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se
skemaet “Teknisk Information”).
BRUGSANVISNING
14 87-900-934-01(D)
FASTGØRELSE AF PUMPE
!
ADVARSEL!
Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og
systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen
ikke er tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen
rive sig løs fra systemet eller motoren kan rive sig løs fra
pumpens beklædning. I dette tilfælde kan metalfragmenter blive
slynget ud af pumpen eller systemet, hvilket kan medføre
alvorlige kvæstelser eller dødsfald og/eller materiel beskadigelse
af apparaterne i nærheden.
Montér TV 551/701 Navigator i en stabil position ved at
montere turbopumpens indgangsflange på systemets
kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på
8.600 Nm omkring dens egen akse.
ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af
stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250
DCMZ).
Nedenstående tabel beskriver antallet af klemmer (IC 63250
DCMZ), som er nødvendige til hver enkelt flange, samt det
nødvendige tilspændingsmoment for klemmerne.
LANGE ANT. DREJNINGS-MOMENT
ISO 100 16 35 Nm
ISO 160 10 35 Nm
ISO 200 8 35 Nm
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.
TV 551/701 Navigator kan installeres i en hvilken som helst
position.
BEMÆRK
Navigator TV 551/701 kan ikke fastgøres i fundamentet.
!VIGTIGT!
TV 551/701 Navigator hører til den anden installationsklasse
(eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor
anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne
klasse. TV 551/701 Navigator er forsynet med konnektorer til
ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal
tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at
opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at
anordningen, der er tilsluttet TV 551/701 Navigator, har en
passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl
som angivet i normen EN 61010-1.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 120° C.
!
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens
tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje
temperatur kan resultere i skade på personer.
!VIGTIGT!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke
indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den
specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk
tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er
nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller
argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”)
!
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af TV 551/701 Navigator
For at starte TV 551/701 er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender
blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START
metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne
funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende
aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START
metoden.
For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte
måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232
“COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk
Information”).
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV
551/701’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Stop af TV 551/701 Navigator
For at afbryde TV 551/701 Navigator er det tilstrækkeligt at
afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder
straks pumpen.
Nødstop
Afbrydelse af TV 551/701 Navigator i nødsituationer sker ved at
koble ledningen fra styreenheden.
VEDLIGEHOLDELSE
TV 551/701 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse.
Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale.
!
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,
der udskifter systemet med et repareret system.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian
advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og
tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,
udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets
emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BRUKSANVISNING
15 87-900-934-01(D)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet TV 551/701 Navigator bestär av en turbomolekylär
pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en
styrenhet. Systemet kan användas för pumpning av alla typer
av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för
pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
42000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i TV 551/701 Navigator, som därför
passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
TV 551/701 Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör
det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera
avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-
dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS
485).
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
!
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
! VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste
följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal pre-
standa och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
! VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
TV 551/701 Navigator levereras i ett särskilt skyddande
emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om
emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under
transporten. Se till att TV 551/701 Navigator inte tappas eller
utsätts för stötar vid uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
! VIKTIGT !
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 551/701
Navigator. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad
tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det
kommer in damm eller annat i den.
INSTALLATION
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical
Information”)
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).
! VIKTIGT !
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. TV 551/701 Navigator måste anslutas till en
huvudpump (se schemat i "Technical information").
Sidan laddas ...
Sidan laddas ...
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Varian TV 551 Användarmanual
- Typ
- Användarmanual
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- español: Varian TV 551 Manual de usuario
- português: Varian TV 551 Manual do usuário
- français: Varian TV 551 Manuel utilisateur
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